低温蒸发是近年来新发明的一种气态分离技术。主要是利于废水中其他物质的沸点低于水的特点，开发的一种物理提纯的技术，当温度达到水的沸点时，水分子大量挥发 ，从而得到纯度更高的蒸馏水， 为了防止常温或者高温对废水中有害物质的破坏，经常会采取降压的方式，来降低液体的沸点，从而降低成本，保护再生水原有的特性。